Termik santrallerde 3 ana arıtılacak madde bulunur. SOx, kül ve NOx (NOx arıtması kazandaki yanma sıcaklığına bağlıdır düşük sıcaklıklarda gerekli görülmeyebilir). SOx için kireç taşı ile desülfürizasyon kolonu kullanılır. NOx için farklı yöntemler var birisi de katalizör yataklı reaktörde amonyak ile azot ve oksijene ayırma. Kül için de küçük sistemlerde torbalı filtre büyük sistemlerde ise statik filtre tarzı sistemler kullanılır.